| Titre : | Modélisation de la décharge luminescente en présence d’atomes métastables dans l’argon avec les données de base du logiciel BOLSIG+ |
| Auteurs : | SENOUCI Mohamed, Auteur ; MESKINE Omar, Auteur ; Abdelaziz BOUCHIKHI, Directeur de thèse |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | 3- Université Saïda – Dr Tahar Moulay Faculté de Technologie DBR ELECTROTECHNIQUE, 2019/2020 |
| Format : | 91 P |
| Accompagnement : | CD |
| Langues: | Français |
| Catégories : | |
| Mots-clés: | les données de base du logiciel BOLSIG+ ; la décharge luminescente |
| Résumé : |
L'étude des décharges hors-équilibres, aussi bien d'un point de vue expérimental que
numérique, a pour objectif de mieux comprendre les phénomènes de base pour mieux connaître les propriétés électriques du plasma pour ensuite essayer de prédire par le calcul basé sur un modèle de décharge les conditions optimales de fonctionnement de la décharge en vue de telle ou telle application. Beaucoup de travaux théoriques et expérimentaux sont menés pour étudier, caractériser et analyser les plasmas froids dans le but d’améliorer et d’optimiser les procédés qui les utilisent. Pour les applications micro et nanoélectronique, la densité électronique dans les réacteurs plasmas à faible pression est d’environ de 108 cm-3 à 1012 cm-3, le degré d'ionisation est d'environ de 10-6 à 10-3, correspondant à des gaz faiblement ou partiellement ionisés lorsque la pression est comprise entre quelques Torr à quelques mTorr. Pour former et maintenir ces décharges, une source électrique est appliquée à une composition gazeuse incluant un gaz tampon et gaz donneur d’oxygène pour produire notamment l'ionisation du gaz tampon. Cette étude est motivée par l'intérêt que suscite ce type de décharge dans de nombreuses applications industrielles. En effet, le domaine de l'ingénierie des plasmas froids s'est développé durant les dernières décennies pour couvrir un grand nombre d'applications dont les retombées économiques sont fort importantes. Les plasmas des décharges froides qu'elles soient luminescentes ou couronnes sont caractérisés par un rapport entre la température des électrons et celle du gaz, compris entre 1000 et plus. Cette absence d'équilibre entre les deux températures permet d'obtenir un plasma dans lequel la température du milieu gazeux peut être voisine de la température ambiante alors que des électrons peuvent y acquérir des énergies suffisamment élevées pour faire avec les molécules et/ou les atomes du gaz, des collisions inélastiques d'ionisation, d'attachement et d'excitation. Les propriétés thermodynamiques de ces plasmas froids rendent alors les décharges de ce type particulièrement bien adaptées pour le traitement de surface de matériaux sensibles à la chaleur tels que les polymères. |
Exemplaires
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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